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A1  - 张朝辉;杜永平;常秋英;雒建斌
T1  - 化学机械抛光中抛光垫作用分析
Y1  - 2007-02-15 11:07:18.453
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JO  - 星空电竞app2026最新版学报
SP  - 18
EP  - 21
VL  - 31
IS  - 1
UR  - {https://jdxb.bjtu.edu.cn/CN/Y2007/V31/I1/18}
N1  - 
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